Reinraum-Hubwagen für die Waferproduktion

Mobiles Hub- und Transportgerät für das sichere Handling empfindlicher Wafer in Reinraumklasse ISO 2, mit Hubhöhen bis 2,1 m und einem produktspezifisch angepassten Greifersystem.

Das Projekt auf einen Blick

Für den Aufbau einer neuen Produktionslinie in der Waferfertigung entwickelte Fakler Engineering ein Reinraum-Hub- und Transportgerät, mit dem sich empfindliche Wafer sicher heben und bewegen lassen. Das Gerät ist konsequent auf die Anforderungen der Halbleiterfertigung ausgelegt: reinraumtauglich nach ISO 2, mit einem an das Produkt angepassten Greifersystem und mobil direkt an der Linie einsetzbar. Fakler setzte das Projekt über die gesamte Kette um, von der ersten Problembeschreibung über Konstruktion und Fertigung bis zur Inbetriebnahme.

Fakler – Projektdaten

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Branche	Mikroelektronik und Halbleitertechnologie
Leistungsbereich	Sondermaschinenbau
Projekttyp	Neuentwicklung für eine neue Produktionslinie
Anwendung	Handling von Wafern
Reinraumklasse	ISO 2 (nach ISO 14644-1)
Max. Hubhöhe	2,1 m
Max. Hubgewicht	100 kg (nach Kundenwunsch anpassbar)

Die Herausforderung: Handling empfindlicher Wafer im Reinraum

Mit einer neuen Produktionslinie für die Waferfertigung stellte sich die Frage, wie sich die empfindlichen Wafer im laufenden Betrieb sicher heben und transportieren lassen. Die Halbleiterfertigung lässt dabei wenig Spielraum: Das Gerät muss reinraumtauglich sein, darf keine Partikel in die Umgebung abgeben und soll sich zugleich flexibel an das jeweilige Produkt anpassen lassen.

Die Lösung: Mobiler Reinraum-Hubwagen nach ISO 2

Fakler Engineering entwickelte ein Reinraum-Hub- und Transportgerät, das genau auf diese Anforderungen zugeschnitten ist. Über eine mehrstufige Teleskopsäule hebt es Lasten bis 2,1 m Höhe, die elektropolierten Edelstahloberflächen erfüllen die Reinraumklasse ISO 2. Dank geringer Baulänge und 90-Grad-Rollenverstellung bleibt das Gerät auch auf engem Raum wendig, der Akkubetrieb macht es unabhängig von festen Anschlüssen.

Was konkret umgesetzt wurde:

Reinraum-Hub- und Transportgerät für das Handling von Wafern
Reinraumtauglichkeit nach ISO 2 mit elektropolierten Edelstahloberflächen
Mehrstufige Teleskopsäule für Hubhöhen bis 2,1 m
Produktspezifisch angepasstes Greifersystem
Akkubetrieb, geringe Baulänge und 90-Grad-Rollenverstellung für hohe Beweglichkeit
Umsetzung über die gesamte Kette: Konzept, Konstruktion, Fertigung und Beschaffung, Montage, Inbetriebnahme

Das Ergebnis ist ein Gerät, das sich exakt in die Reinraumumgebung des Kunden einfügt und beim Handling der Wafer für Sicherheit und Wiederholgenauigkeit sorgt.

Was der Kunde heute hat

Das Gerät ist seit Jahren zuverlässig im Einsatz. In dieser Zeit hat Fakler es mehrfach weiterentwickelt und bei geänderten Anforderungen an der Linie zum Beispiel angepasste Greifer nachgeliefert.

Für den Kunden bedeutet das ein Gerät, das nicht nur zum Start passte, sondern über die Jahre mit den Anforderungen mitgewachsen ist, begleitet von einem Partner, der Anpassungen und Erweiterungen zuverlässig umsetzt.

Der Auftraggeber

Der Kunde ist im Bereich Mikroelektronik, Halbleitertechnologie und Sensorik tätig. Das Institut entwickelt und produziert kundenspezifische Mikrochips, ASICs und Bildsensoren sowie Lösungen für Nanostrukturierung und Mikrosystemtechnik. Die Anwendungen reichen von Industrieelektronik über Automatisierung bis hin zu Medizin- und Sensortechnik.

Technische Spezifikationen

Fakler – Technische Daten

Hubhöhe	variabel, max. 2,1 m
Max. Hubgewicht	100 kg (nach Kundenwunsch anpassbar)
Reinraumklasse	ISO 2 (nach ISO 14644-1)
Oberfläche	elektropolierter Edelstahl
Baulänge	unter 1 m
Wendekreis	klein, dank 90-Grad-Rollenverstellung
Antrieb	Akkubetrieb
Hubsäule	mehrstufige Teleskopsäule
Greifersystem	produktspezifisch angepasst
Optionen	schwenkbare Greifer (Wendevorrichtung), horizontales und vertikales Verfahren, zwei einstellbare Hubgeschwindigkeiten

Ähnliche Anforderung? Sprechen Sie mit uns.

Ob Reinraumhandling, ein mobiles Hub- und Transportgerät oder eine Sonderlösung für sensible Produkte: Wir begleiten Ihr Projekt von der ersten Problembeschreibung über Konstruktion und Fertigung bis zur Inbetriebnahme, und darüber hinaus mit Anpassungen im laufenden Betrieb.